Tris(isopropoxy)silanol

CAS 27491-86-7 MFCD09842774

化学结构图

27491-86-7
SMILES: CC(C)O[Si](O)(OC(C)C)OC(C)C

化学属性

Mol. Formula[(H3C)2CHO]3SiOH
Mol. Weight222.35
Density0.940 g/mL at 25 °C(lit.)

别名和识别编码

Chemical NameTris(isopropoxy)silanol
Synonym 三(异丙氧基)硅烷醇
MDL NumberMFCD09842774
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分类

  • {SNA} CVD and ALD Precursors by Metal, Materials Science, Micro/NanoElectronics, Silicon, Vapor Deposition Precursors

安全信息

WGK Germany3
Personal Protective Equipment Eyeshields, Gloves, half-mask respirator (US), multi-purpose combination respirator cartridge (US)

系列性分类

  1. Materials Science 材料科学
  2. Micro/NanoElectronics - Materials Science
  3. Vapor Deposition Precursors - Micro/NanoElectronics
  4. CVD and ALD Precursors by Metal - Vapor Deposition Precursors
  5. Silicon - CVD and ALD Precursors by Metal

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